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厚膜微压传感器

2000年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

该成果为国家“九五”重点科技攻关项目，采用超薄陶瓷弹性体设计及厚膜工艺技术，以厚膜应变电阻和高性能陶瓷材料研制价廉、耐腐蚀、工作温度范围宽的厚膜微压传感器。
该厚膜压力传感器的量程突破0.1MPa，达到1KPa。该成果率先采用厚膜压力传感器的量程，形成1KPa、5KPa、10KPa、20KPa四种规格，为微压传感器增添了新品种。
厚膜微压传感器主要用...

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