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集成电路掩模传输控制系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
技术背景及概况
掩模传输系统是集成电路生产过程中光刻机的重要辅助设备，用于将掩模版从掩模版库到光刻机曝光台之间进行输送。集成电路生产的特点，决定了掩模输送系统必须具备高于光刻机的可靠性。集成电路生产的工艺，决定了掩模版放置到曝光台时对位置定位的精度要求很高。该掩模传输控制系统，主要实现对两个版库的控制，掩模机械手的控制以及本系统与外部系统的信息交换等。其中，版库单元主要...
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