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真空微电子压力传感器

2000年

应用技术

初期阶段

成果简介

真空微电子学（VME）是研究利用现代微细加工技术在芯片上制造集成化的微型真空电子器件的一门新兴的前沿学科。1988年第一届国际真空微电子学会议之后，VME领域的研究工作十分活跃。
目前，真空微电子学已在平面高清晰度显示器件、传感器、小型微波毫米波管等多方面显现出很好的应用前景，引起各国科技界的关注。真空微电子传感器以其特有的抗辐射、体积小、灵敏度高、温度稳定性好，以及制...

相关成果

1. 真空微电子平板摄像
2. 集成真空微电子触觉传感器阵列
3. 真空微电子加速度传感器
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16. 纳米压力传感器
17. 薄膜压力传感器
18. 汽车压力传感器
19. 超导微电子器件基础研究
20. 张鸿欣微电子模块热分析
21. 微电子工业引线框架
22. 微电子材料与器件微分析技术
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29. 微型硅压力传感器
30. OEM系列压力传感器
31. 小型动态压力传感器
32. 厚膜微压力传感器
33. 厚膜陶瓷压力传感器
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35. 无线压力传感器研制
36. 光纤压力传感器技术
37. 微电子光电器件框架
38. 射频微电子机械单刀双掷开关
39. 微电子器件薄层材料的SIMS分析
40. UP-SS级微电子用异丙醇
41. 实时微电子细胞阻抗分析系统
42. CYG001,CYG002,CYG003系列真空度,大气压,绝对压力传感器及变送器
43. OEM硅通用压力传感器
44. 探针式组合压力传感器
45. SOI高温压力传感器
46. 应变式压力传感器
47. 机油压力传感器
48. 压力传感器恒温器
49. 扩散硅固态压力传感器
50. BLY系列拉压力传感器
51. 耐高温压力传感器
52. 小量程厚膜压力传感器
53. 一种压力传感器
54. 霍尔型土壤压力传感器
55. ICXL超微压力传感器
56. 汽车用MEMS压力传感器
57. 电容式压力传感器
58. 汽车用MEMS压力传感器
59. 汽车用压力传感器研究
60. 铁路信号微电子设备防雷装置
61. 微电子工业特种气体-高纯三氟化氮
62. 微电子技术与材料系列新产品
63. 基于微电子的先进激光加工技术
64. 生物体植入式微电子器件
65. 高真空罗茨真空泵
66. 压力传感器校准测控系统
67. SOI硅高温压力传感器
68. 新型高精度压力传感器
69. 悬浮式电容压力传感器
70. MEMS耐高温压力传感器
71. 高精度小压力传感器
72. BKY系列矿山支护压力传感器
73. 汽车压力传感器生产测试系统
74. SGY-2型压力传感器
75. 硅微谐振式压力传感器
76. 光纤询问式MEMS压力传感器
77. 微型光纤压力传感器的研制
78. 汽车压力传感器芯片及器件
79. 汽车压力传感器产业化
80. 微型光纤压力传感器的研制
81. 高性能薄膜压力传感器
82. 高温微电子器件用GSMBE氮化物材料
83. 微电子设备防浪涌保护避雷系统
84. 微电子装备信息化应用集成平台建设
85. 微电子机械微操作系统研究
86. 应用微电子技术改造机械设备
87. 微电子装置防雷系列产品与技术
88. 微电子机械（MEMS）的设计与新器件研究
89. LIGA制作高性能微电子机械模具研究
90. 微电子嵌入式神经信道桥接项目研究
91. 微电子封装用高温无铅焊料的研究
92. 带真空检测装置的真空玻璃
93. 真空冷箱
94. 真空玻璃
95. 硅敏感芯片压力传感器芯体
96. 电阻变式纳米膜压力传感器
97. CY系列压力传感器注油芯体
98. 多晶硅高温压力传感器
99. 集成MOS力敏运放压力传感器
100. 汽车电控燃油喷射系统压力传感器

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