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射频弧光放电法原位清洗光学元件

2000年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
同步辐射光束线是将同步辐射光从电子加速器轨道经前端区引入到实验站的装置。光学元件是其核心部件，如各种反射镜、聚焦镜；选择光子能量的光栅等。光学元件性能好坏决定了束线的光强及分辨能力，从而也决定实验工作的质量及效率。由于束线中的光学元件都一直是处于在同步光照射下，真空管道中的残余气体（如CO、CO_2、CH_4等）所含的碳会逐渐地沉积于光学元件的表面，造成光学元件表面的污染，污染使光学元件的...
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