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100nm高密度等离子刻蚀机

2007年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　随着科学技术的进步与发展，集成电路产业已成为现代制造业的基础性产业和保障国家安全的战略性产业。集成电路设备是集成电路产业的核心，是衡量一个国家和地区集成电路产业水平的标志。刻蚀机是集成电路生产线上的影响芯片特征线宽的关键工艺装备。等离子刻蚀是目前主流的刻蚀方法，融合了等离子体、射频、超高真空、自动化控制等多种尖端技术。当今没有一个集成电路芯片能在缺乏等离子刻蚀技术情况下完成，刻蚀工艺的水平直接...
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