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硅衬底上低温定向生长氧化锌纳米线阵列及场发射研究

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1、该研究利用热蒸发气相输运方法,通过改变不同的工艺参数,在硅、玻璃和石英衬底上成功制备了不同形貌的氧化锌纳米结构。
2、对硅衬底上氧化锌纳米结构精细图形化分层生长进行了研究,获得了高质量的精细化分层生长氧化锌纳米结构环形微阵列和高质量的电子场发射像,为场发射平板显示器高清晰微画显示提供了实验依据。
3、对硅衬底上直接生长氧化锌纳米结构微纳电路进行了...
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