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弱光型非晶硅太阳能电池及生产工艺

1996年

应用技术

成果简介

该产品是一种在200勒克斯弱光下推动液晶显示器（LCD）工作的非晶硅光电转换器件，其生产技术集合了等离子技术、大功率激光技术、计算机技术、非晶半导体技术和高真空镀膜技术，采用独创的工艺线路，在复合TCO膜制备、激光光刻、PIN型晶硅薄漠沉积、背电极处理上都有特色。该弱光电池采用了内联式结构，简化了设备，可大规模集成化生产。应用该技术生产的非晶硅太阳能电池，在弱光环境下对荧光灯光谱的吸收系数...

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