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FA/O抛光液及抛光技术

1997年

应用技术

成果简介

FA/O抛光液是一种新型的电子化工材料，由于采用了催化、解吸、均蚀技术，产品具有无磨料、均腐蚀、粘度低、极易清洗、高速率、高活性、高浓缩度、高质量、低成本等特性。通过对无磨料抛光特有作用过程及抛光动力学控制过程和抛光机理模式的深入研究，研究出与FA/O新型抛光液相适应的新抛光技术，实现了以化学为主的低损伤、高质量、高效率、工艺简单、适于大规模生产的无固体磨料抛光，其综合指标、抛光速度、表面...

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