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CYB-921型应变式合金薄膜压力传感器

1998年

应用技术

成果简介

该敏感元件采用离子束溅射淀积成膜技术，优于国内外广泛采用的真空蒸发、电子束蒸发和磁控溅射等传统工艺，使介质隔离层绝缘性达10^4MΩ/100V.DC，桥臂电阻值高达2～10kΩ，膜层均匀，成膜成品率高达75%。该敏感元件具有精度高、零点漂移小、稳定性及动态特性好等优点，是测量压力参数的新品种，技术性能指标已达到企业军用标准QJB/UM001-95的要求，并已成功地用于某战术导弹试车和飞机试...

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