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集成MOS力敏运放压力传感器

2003年 应用技术
  • 成果简介
硅压力传感器在家电，汽车，航空，航天，医疗器械，军工以及工业控制等方面具有广阔的应用前景。预计2003年，全球硅压力传感器的销售额高达11～21.5亿美元。目前，国产硅压力传感器主要是敏感元件外接信号处理电路，产品的体积和功耗大，可靠性和性价比低。实现敏感元件与信号处理电路一体化(即单片集成)直至智能化是传感器的一个主要发展方向。现在的集成压力传感器主要是由力敏元件(惠斯登压阻电桥)和放大处理电路...
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