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硅集成微型泵

2003年 应用技术
  • 成果简介
该项目来源于国家攀登计划(B)，主要立项目标是要求研制一种新型的硅集成微型泵，并且探索一条解决微电子集成电路制作工艺技术和硅微机械加工技术兼容的方法，实现了微泵与微传感器以及有关电路的集成，形成了MEFIS系统。该微型泵采用电热双金属结构作为泵的驱动机构，这使得该驱动装置有驱动力大，工作可靠等系列创新性优点。技术指标：该项目研制成功芯片内集成微型流量的传感器及其信号处理电路。原任务书要求泵的最大出...
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