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消除相关气路流量波动的高精度质量流量控制设备

2001年 应用技术
  • 成果简介
该实用新型专利是一种在气体流量精确控制过程中，用来消除相关气路在调节改变某一气路和某几个气路气体流量时引起相关其它气路气体流量波动的一种装置。该专利产品在有单一公共运载气体源的气体流量精确控制设备中，增加一路装有一个通用的质量流量控器，用不通过任何反应物的附加气路作为气体流量平衡补偿调节气路。平衡补偿气路所排放的气体可以回收，不会造成不必要的浪费。由于只增加一路平衡补偿气路，所以具有结构简单，成本...
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