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大规模集成电路用器皿及工具(三英寸硅片承载器及提把)

2005年

应用技术

成果简介

北京市塑料研究所在对PFA注射成型工艺进行较系统的研究基础上,承担了此课题。根据PFA树脂的加工特点引进了西德巴登费尔德公司制造的BA1600/630型注射机。对PFA硅片承载器注射成型工艺进行大量的研究,并成功试制成功三英寸硅片承载器及提把。产品尺寸为141.5×93×83( mm),定位销间距136mm公差±0.5mm,提把最小夹口有效宽度60±0.3mm,最大夹口有效宽度88.5±0.5mm...

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