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超高压大功率晶闸管的国产化

2005年 应用技术
  • 成果简介
超高压大功率晶闸管国产化项目是国家根据三峡工程国产化的需要而设立的。主要研制了5in7200V三峡直流输电(HVDC)阀体核心器件的制造工艺与测试技术。其主要特点：采用预沉积和推进分步掺杂，推进、氧化同时完成，形成优良的杂质分布，在确保耐压条件下长基区宽度取极小值综合优化电参数；磷、硼多次吸收并通过二维监控获取高分子寿命、高电子辐照比，严格控制反向恢复电荷Qrr、及其均匀性；双角度表面造型匹配台面...
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