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华宇同方牌电子级氯化氢产品及生产工艺

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
采用特效催化反应、高效精馏和特种装置设备等技术制造出电子级氯化氢产品。该产品用于大规模集成电路芯片制造。经国内用户试用及与国外知名品牌氯化氢产品分析对比，其主要性能指标与国外同类产品相当，填补了我国电子级氯化氢产品生产的空白。
该产品原料来源充足，供应可靠，生产线装置运行连续稳定，产品的主要技术指标具有可靠的检测手段，符合环保要求。技术路线科学、合理、先进，工艺参数稳定...
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