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金属有机化学汽相淀积生长铁电薄膜材料和金属有机化学汽相淀积生长TiO_2薄膜气敏传感器

2005年

应用技术

成果简介

1.成果内容简介：(1)金属有机化学汽相淀积生长铁电薄膜材料：用自制的低压金属有机化学汽相淀积(MOCVD)设备在Si衬底上成功地生长了锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜，材料结构是PZT/Pt/粘附层/SiO_2/Si，用SAWYER-TOWER方法观察到了电滞回线，并用所得材料研制了铁电薄膜电容，通过实验证明了该电容成功地实现了断电后不挥发的信号存储。(2)金属有机化学汽相淀积生长TiO_2薄膜气敏传...

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