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中束流离子注入机

2005年 应用技术
  • 成果简介
一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：1.成果内容简介：LC-8A型中能量中束流离子注入机，是对“七五”科技攻关成果“LG-8型中束流离子注入机”的实用化。“七五”攻关已经基本上完成了对美国伊顿公司NV3204离子注入机的会进消化吸收工作，但还有些问题需要进一步完善、提高。“八五”攻关解决的关键技术有：(l)可靠性技术。“七五”攻关时，还未进行过可靠性设计，这次对整机进行了可靠性设计，并对组件...
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