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VLSI/ULSI器件薄膜材料和工艺技术

2005年

应用技术

成果简介

一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：1、成果内容简介：“自对准金属硅化物薄膜材料和器件工艺技术”是可用于发展性能超大规模集成电路及其它半导体器件制造技术的研究成果。它包括：1、自对准硅化钴器件工艺技术；2、自对准硅化钛器件工艺技术；3、新型CoSi/Si异质固相外延技术；4、外延自对准硅化钴器件技术；5、Co、Ti/SiGe/Si固相反应硅化物--锗化物薄膜；该专题研究成功的CoSi_2和T...

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