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1微米级VLSI专用电路工艺技术和万门门阵列、RISC芯片设计及制造

2005年

应用技术

成果简介

一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：清华大学微电子学研究所通过“八五”攻关，已经建设成为中国1微米级VLSI设计和工艺加工的重要研究开发基地；1、原有工艺研究线经过改造已形成小批量、多品种芯片加工能力，达到年投4in6000硅圆片的水平，并开发了以CMOS工艺为主，包括双层多晶硅、双层铝布线、E2PROM、高低压混合电路等多种工艺模块技术。2、典型产品1兆位汉字ROM生产技术已成功地实现向I...

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