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ArF准分子激光振荡放大系统

2004年 应用技术
  • 成果简介
“ArF准分子激光振荡放大系统"为国内首次研制成功。振荡级和放大级共用一只闸流管作为开关元件，通过主回路的时间延迟匹配，有效地解决两台器件的放电抖动，实现了ArF激光(193nm)的振荡放大。整个系统技术路线和工艺设计具有创新性和先进性。该系统达到下列主要技术指标：1.激光单脉冲能量：>55mJ；2.激光输出能量不稳定度：<～5%；3.激光脉冲宽度：20ns；4.激光束发散全角：0.08×0.2m...
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