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磷化镓发光二极管电极制备工艺

2002年 应用技术
  • 成果简介
该磷化镓发光二极管电极制备工艺借助多层真空镀膜，控制镀膜厚度，优选合金热处理的工艺条件，降低合金热处理的温度，获得较低的比接触电阻，线性好、斜率大的伏安特性，在半导体表面上获得高掺杂的半导体层。其工序简便、安全，能充分利用现有中小规模光电器件管芯制备的常规设备，用料省，成本低。...
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