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等离子体化学气相沉积法制备高纯TiO_2纳米颗粒技术

2004年

应用技术

成果简介

技术先进性和成熟性：该项目是山西省科委工业科技攻关项目，于2000年5月通过鉴定。它采用高频等离子化学气相沉积法(RF-PCVD)制备高纯TiO_2纳米颗粒，于其它方法相比，其工艺简单，成本低，可直接得到晶型产品，而不需要煅烧、退火等后处理过程，并易实现连续化生产。因RF-PCVD法无电极放电，其产品具有纯度高、呈球形、粒度小、分布窄、颗粒分散性好等特点。该项研究首先开发出一套可用来制备高纯、纳米...

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