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宽带隙薄膜材料核化与生长机制及其性质的研究

2003年 基础理论
  • 成果简介
宽带隙金刚石膜及立方氮化硼薄由于其优异的物理性质和低成本,在机械、电子、光学及军事工业等部门有广阔的应用前景。
(1)金刚石与C-BN膜都具有很高硬度,因此是最好的切削刀具耐磨材料,目前已有金刚石膜刀具和金刚石膜涂层刀具商品。
(2)金刚石具有优异的电学性质如宽禁带、高载流子迁移率、低介电常数、高导热率、高击穿电压以及防辐射等。所以用它制作半导体器件...
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