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微结构气敏传感器与电子鼻

2004年

应用技术

成果简介

电子所在国内首先采用MEMS技术研制成功低功耗硅基膜片型微结构气敏传感器。当工作温度为300℃时其功耗小于75mW。该种微结构单元已达到同类器件的国际水平。用液延生长和热氧化法（RGTO）、射频（RF）溅射法等制备SnO_2基敏感薄膜，研制出灵敏度高、稳定性较好的CO、H_2S、可燃气体等多种气敏传感器。研制成具有自动进样装置的台式电子鼻系统样机，能很好地识别各种不同的有机溶剂、不同品牌的白酒及不...

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