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高深宽比三维微加工技术

2004年 应用技术
  • 成果简介
基本原理和关键技术：该技术是利用微电子技术发展起来的三维微加工技术制造微结构模具，然后利用该模具通过模压或注塑工艺进行塑料三维微结构的批量生产，其关键技术包括厚胶光刻工艺、深层刻蚀工艺、模具电铸工艺和微复制工艺等。功能：能在塑料基片上加工出各种高深宽比微结构，如能产生衍射的光栅、毛细管及防伪微结构等。技术指标：加工厚度：200微米，深宽比：>10。特点：该技术主要应用于金属和塑料三维微结构的加工，...
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