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大量程纳米分辨率线位移测长仪

2004年 应用技术
  • 成果简介
1.采用了高密度光栅（它不受光栅密度的影响），达到400线对/mm以上，同时系统具有光学四倍频或六倍频，原始信号周期比光栅尺提高20倍以上，与双频激光干涉仪相似。较双频激光干涉仪工作稳定。2.使用半导体激光器做光源，结构简单、体积小、重量轻，造价低。3.与光栅尺双光栅系统相比，其输出信号是高质量的正弦波（无高次谐波），同时由于采用偏振片及推迟波片，确保A、B两相信号相差90º；恒定，它有利...
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