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表面改性薄膜用高性能溅射靶材的研制

2002年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　八十年代国际上利用薄膜对表面进行改性的技术迅速发展，应用领域越来越广泛，相应促进了薄膜涂覆的工艺和方法不断更新。其中，弧光和磁控溅射镀等方法，由于效率高，适用范围广，几乎适用于各种复杂膜的涂镀，且镀膜与母材结合强度高、易控制、质量稳定等优点，得到迅猛发展。这样用于各种膜系的溅射设备被许多发达国家相继研制出来，而采用这类方法镀膜的条件是必须将各种涂覆材料制成靶材才可进行。针对这一形势，自八十年代...
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