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微控扩散炉

2004年 应用技术
  • 成果简介
扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火等工艺的一种热加工设备，其特点如下：1、采用高可靠性工业控制机，全部工艺过程实行自动化；2、可随意显示各种工艺参数及当前状态，并进行编程，参数可随时修改；3、驱动采用细分电路，运行平稳可靠；具有完善报警功能，炉体机箱升温、N_2欠压、断偶、死机、冷却水报警功能。...
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