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单晶炉系列产品

2004年 应用技术
  • 成果简介
西安理工大学校工厂自1961年研制成功中国第一台单晶炉以来,已定型生产了8大系列,40余个品种的晶体生长设备,涉及半导体、光学、化合物、氧化物、氟化物等晶体材料、合金材料及高纯金属等高技术领域。其中大直径硅单晶炉和大直径激光单晶炉等设备性能已达到国际同类产品水平。获13项国家、省部级科技进步奖。产品在国内覆盖面95%以上,先后有四个品种,二十余台套设备出口国外。该厂始终瞄准世界先进水平,以坚持面向...
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