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厚膜微压力传感器

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目采用超薄陶瓷弹性体设计及厚膜工艺技术，以厚膜应变电阻和高性能陶瓷材料研制价廉、耐腐蚀、工作温度范围宽的厚膜微压传感器。厚膜压力传感器的量程突破0.1MPa，达到1kPa。设计新颖，技术先进，主要性能达到并优于攻关合同要求，成果水平为目前国际先进水平。该成果的技术创新点及特色：率先采用厚膜应变电阻和特殊超薄高性能陶瓷弹性体研制成功厚膜微压传感器。拓宽了厚膜压力传感器的量程，形成1kPa、5kP...
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