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静电力激振法用于确定电容式传感器动态特性的研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
提出了用静电力激振法确定电容式加速度传感器的动态特性，并分析了其静电力的非线性、频率误差及补偿传感器本身寄生电容的方法，给出的正弦振动台结构简单、经济实用，而且非线性系数大大降低。...
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