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高透明低光阻薄膜柔性基衬镀膜技术和设备

2002年 应用技术
  • 成果简介
该项目是多学科交叉的综合性技术，涉及诸多技术原理，主要有：1、ITO磁控溅射室温成膜机理；2、介质-金属-介质和介质-金属-介质-金属-介质光学匹配原理；3、隧道抽气和气氛软隔离原理；4、膜厚和膜系组合与透光率的关系等。该项目技术和总体设计思路具有创新性、先进性、科学性和实用性，膜系设计新颖，实时监控方法创新、独到，气氛隔离结构紧凑、有效，设备配置合理，运行稳定可靠，工艺适用，重复性好。该技术属国...
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