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生长高定向BCN纳米管材料的方法

2001年 应用技术
  • 成果简介
该发明涉及用化学气相沉积法合成纳米材料及其工艺条件。它采用直流辉光放电等离子体定向工艺，用偏压辅助热丝化学气相沉积设备，在金属基片上直接生长出具有一系列不同电学特性的、取向高度一致的BCN纳米管材料。该发明所提供的纳米管材料将成为一种微电子和光电子材料，并可在场发射等领域获得直接应用。该发明所提供的方法简便易行，适合推广到工业应用中进行大面积生长。...
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