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压力传感器特性、封接、引线可靠性研究

2003年 基础理论
  • 成果简介
完成著作一本,发表论文30余篇,其中SCI7篇,EI6篇。
(1)在国际上首先发现零点的电漂移现象,并给予了定义,提出应将它作为技术指标。
(2)反向漏电流也对零点热漂移有影响。
(3)可用斜置四探针检测微区薄层电阻。最小可测尺寸为90-120微米,国际领先。
(4)可用低温玻璃封接实现压力传感器的芯片封接。...
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