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LED液相外延片及芯片生产关键技术研究

2001年

应用技术

成果简介

该项目研究成功磷化镓红光、绿光外延片，这是制造普通红色、绿色LED发光二极管的核心材料，改变了中国该类产业完全依赖进口的被动局面，填补了国内该产品的空白。还研制了M8611-1/UM型液相外延系统，这是液相外延必备设备，只需稍加改动就可用于GaAs.InP等液相外延片的研制与生产。磷化镓红色、绿色发光二极管仍是LED产品中用量最大的一种，工厂正准备在该研究成果基础上迅速扩产，逐步实现外延片产业化。...

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