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碳化硅单晶与薄膜半导体材料

2001年 应用技术
  • 成果简介
SiC是制作耐高温、抗辐射的微电子器件的首选材料,也是GaN基薄膜的最佳衬底,随着尖端科技的飞跃发展,诸多国防军工建设、国民经济建设和高新产业领域存在着越来越多的高温、核辐射等恶劣环境,因而对SiC的需求越来越急迫。但到目前为止,中国其它SiC材料和器件研究单位都只能从美国Cree公司等购买少量样品作实验之用,这些购进的SiC材料价格昂贵而质量低下。针对以上情况,该项目组在原有基础的研究上展开攻关...
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