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碲镉汞红外双波段探测器深台面的腐蚀设备和方法

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种碲镉汞红外双波段探测器深台面的腐蚀设备和方法，其主要是利用碲镉汞的含溴氧化剂作为腐蚀液，利用恒定光强照射来加快定向的腐蚀速率和精确控制腐蚀时间，利用在不需腐蚀部分的碲镉汞表面生长反射膜来精确控制腐蚀图形，利用腐蚀时旋转样品和冰水混合物来严格控制恒定的，可重复的腐蚀温度，使其深台面的纵向和横向的腐蚀速率比达8:1，最终得到不同组分、不同导电类型和不同掺杂浓度的碲镉汞样品深台面...
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