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Si基全波段窄带高速响应共振腔增强型光电探测器

2005年

应用技术

初期阶段

成果简介

共振腔增强型光电探测器(RCE-PD)是20世纪90年代AT&T Bell实验室的 CHIN 和CHANG等人提出的一种高端集成化光电子器件，它集F-P腔滤波器和光电探测器于一体，具有波长可选择性的窄带探测功能。采用Si作为基质材料研制Si基RCE光电探测器，更具有价格低廉、可与微电子电路集成等优点。成果包括Si基InGaAs双异质结、SiGe/Si多量子阱和Si薄膜型三种RCE光电探测器...

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