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大面积等离子体源技术及其应用

2003年 应用技术
  • 成果简介
项目介绍：等离子体技术可作为重要的辅助加工手段应用于以下领域：半导体集成电路及其它微电子设备的制造；工具、模具及工程金属的硬化；药品的生物相溶性包装材料的制备；表面上防蚀及其它薄层的沉积；优质陶瓷，包括超导材料；新的化学物质及材料制造；金属的提炼；聚合物薄膜和印刷和制备；焊接；磁记录材料和光学波导材料；精细加工；照明及显示；电子电路及等离子体二极管开关。对上述某些部分领域的目前潜在市场估计；半导体...
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