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CYG1500系列微型、薄型、特型压力传感器

2003年

应用技术

成果简介

这是先进的微机械加工技术和MEMS技术制作的专用压阻力敏芯片按用户的尽量减小对流场影响的要求而设计制作成的微型柱形、螺栓型、探针型、扣型、超薄带型微小特型压力传感器，具有小的外形尺寸，轻的重量及较优良的动态压力响应特性及一定的适应介质的能力，它们有CYG1500、1501、1502、1503适用于空气介质的微型长短探针型；CYG1504、1505微型螺栓型；CYG1506、1507薄带型；CYG1...

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