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电磁驱动的MEMS微光开关

2003年

应用技术

成果简介

光开关是光纤通讯中的重要器件，光交换(OXC)和光分插复合(OADM)是实现全光通讯的关键技术，它们均需光开关。因此，光开关具有重要的应用背景和巨大经济效益。基本原理和关键技术；光开关原理是利用电磁驱动摇摆微镜切换光路；关键技术为：专用微驱动器设计、微驱动器微细加工、光路设计与优化、光路耦合、光纤准直器的校准与固定、专用驱动电路设计和集成封装等。功能：主要功能是进行光信号(光路)的切换。水平：经上...

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