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双频激光测量系统

1993年 应用技术
  • 成果简介
双频激光干涉仪是光机电一体化超精计量仪器，用于精密机床位置精度、直线度、平行度、垂直度的检定；同时也是一种高精度位移传感系统。该产品采用光机一体化先进技术，精度高，全功能。国内独家生产。 主要技术指标：分辨率0.02μm，测量速度>300mm/s，仪器精度±(0.16+0.10L)μm(L为米)。合作方式：合资经营；合作生产。...
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