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特种气体(高纯烷类气体)

1993年

应用技术

成果简介

特种气体(硅烷、磷烷、硼烷、砷烷)是发展微电子工业不可缺少的原材料之一，主要用于集成电路及非晶硅太阳能电池、精密陶瓷、涂膜玻璃、金属表面处理等产品的生产。主要性能作CVD工艺及外延、掺杂；产品纯度分别达到99.992%-99.999%。合作方式：开发国内外市场；合资经营。...

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