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大量程纳米级分辨率光栅位移传感器

2002年 应用技术
  • 成果简介
该技术实现了大量程高分辨率位移测量，量程为100mm-500mm。通过改进光路设计，获得倍数(10-20倍)光学细分，如果该位移传感器配以高倍数的电子细分技术，可以实现纳米级的位移测量分辨率。该传感器可以广泛应用于位移精度测量的场合，如超精加工机床、加工中心、三坐标测量机(CMM)等。应用范围为超精加工、精密检测等领域。...
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