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纳米精度光栅线距标准检定装置

2005年

应用技术

中期阶段

成果简介

测量装置主要由测角仪转台，激光光源，光栅调节支架及光学调节架组成，它们都安装在一个坚固的钢板基座上。
1、测角仪转台由精密轴系、与转台固定联接的角度度盘以及光学测微器组成。度盘最小刻度为20′，光学测微器刻度为1″，最小读数可达0.2″，仪器的最大分度误差为4.6″，仪器综合不确定度为4.9″。
2. 本装置采用了633nm和543nm两种光源，61...

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