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铁电薄膜(PZT)的制备

1999年

应用技术

成果简介

该成果研究了PZT铁电薄膜的Sol-Gel法制备工艺、退火行为及材料性质。其主要内容有：参考常规Zr醇盐Sol-Gel制备法，首次以ZrO(NO3)2为出发原料制备了PZT纳米铁电薄膜，系统研究了溶胶及电极的制备、热处理过程、整合剂的作用等。成功地制备了PZT/PT纳米晶铁电薄膜。首次试探了ZrO(N03)2出发原料制备铁电薄膜的微波退火，并与常规退火、快速退火(RTA)作了比较。此外，用高分辨率...

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