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脉冲直流PCVD法工模具表面强化技术和设备

2000年 应用技术
  • 成果简介
工艺开发与设备研制：开发出脉冲直流PCVD法TiSiN系耐热超硬薄膜、尤其是高Si含量的TiSiN系薄膜的工艺技术；较系统地研究了TiSiN系薄膜的微观结构、成分和性能优化规律；该技术为国内外首创。开发出脉冲直流PCVD法复合渗镀表面强化工业生产工艺技术，较系统地研究了一系列典型工模具材料的渗层形成规律、组织性能、渗层与镀膜工艺的匹配、复合渗镀层体系性能的优化规律和优化工艺；该技术为国内外首创。开...
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