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光纤通信电路用半绝缘砷化镓材料研究

2002年 应用技术
  • 成果简介
经过二年多的攻关研窟，课题组确立了正确的研究路线及工艺方案，先后解决了大尺寸晶体生长的热场设计技术、化学计量比的控制技术、碳含量的精确控制技术、优化的晶体热处理技术、化学计量比的控制技术、碳含量的精确控制技术、优化的晶体热处理技术、抛光片的批量加工技术等，并首创了原位提纯工艺和二步热处理工艺，同时开展了改善晶体均匀性和热稳定性的研究，使3英寸GaAs抛光片实现了商品化生产，研制了中国第一颗4英寸砷...
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