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集成化高输出压力传感器

2002年 应用技术
  • 成果简介
该传感器的基本原理是利用硅材料的压阻效应，当硅弹性膜片受压力作用时， 弹性膜片将产生一个应变值，其上面的电阻值就会发生变化，把电阻组成惠斯登电桥，则电桥的输出电压信号对应于被测压力值，以而实现压力信号和电压信号的转变。该传感器将差压传感器和绝压传感器集成在一起，实现了传感器体积小、重量轻、可靠性高等特点。主要技术指标如下：绝压传感器：测量范围：106-25kPa；输出信号：0-10V；差压传感器：...
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