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触觉传感器

2002年 应用技术
  • 成果简介
该传感器采用半导体压阻效应原理，利用半导体平面工艺技术及微机械加工技术来制作敏感膜片，而敏感膜片由6×6个触觉单元组成，敏感单元的结构是中心有硬心的“E”型膜片，在“E”型膜片上布置一对受拉和受压力敏电阻，将这四个力敏电阻接成惠斯登电桥，即可测得加在敏感单元上的力的大小，在敏感膜片上涂敷上柔性皮肤，即可进行触觉测量。主要技术指标如下：量程：0.5MPa；分辨率：0.05MPa；工作温度：-10-+...
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